管状炉のパイオニア、ヒーターの事はお任せ下さい

技術情報

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御要望の電気炉を一台から製作

弊社は主に半導体製造装置(拡散炉)用の電気炉を製造しています。半導体製造装置に組み込まれる電気炉は精密な温度制御と温度分布が必要となり、これらの条件は生産性に直結します。生産効率を上げるためシリコンウェハは年々大きくなり、現在は12インチ(直径300mm)が主流となっています。弊社は大型化する電気炉を製作する上で様々な試行錯誤を積み重ねて技術を蓄積し、生産ラインから研究開発・温度校正の分野まで多種多様な電気炉を手掛けています。

  御仕様に合わせたヒーター・電気炉の製作

既製品の電気炉ではなく、お客様の御希望の形状・均熱長・温度勾配・温度精度などの御要望に合わせた電気炉を1台から製作しております。温度精度や使い勝手を考慮した電気炉、また電気炉と制御系をマッチングしたシステムとしての御提供も可能です。各種電気炉の製作実績がございます。詳しくは製品紹介をご覧下さい。

  • 仕様に基づき発熱体を選定し電気炉を設計・製作しております。
  • 電気炉に合わせた温度制御・測温(温度測定機器)制御盤に対応しております。
  • ガス導入・排気・真空ポンプ・マニホールドなどの付帯設備にも対応しております。

※製作可能な温度範囲は炉内温度で200℃~1700℃となります

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