管状炉のパイオニア、ヒーターの事はお任せ下さい

製品紹介

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お客様の御要望に幅広く対応

今日までの我が国工業の発展にはあらゆる製造技術の進歩が寄与しています。熱処理技術はその中でも全ての製造業にかかわっていると言っても過言ではありません。弊社は熱処理に関し長年の経験と優れた技術で様々な業界に貢献して参りました。半導体製造の分野では国内で初めて管状炉を提供し、現在にいたるまで数多くの装置メーカー様やユーザー様から厚い信頼を頂いております。

  • 各種ヒーター・電気炉の製作からシステム化
  • 断面温度分布が極めて高精度な電気炉の製作が可能
  • 低温域から高温域まで対応(製作実績範囲約200℃~約1700℃)
  • 大小様々な電気炉製作に対応(製作実績最大:直径950mm)
  • 仕様に合わせた温度分布・温度勾配に対応
  • 精密な温度制御、温度制御システムに対応
  • 自動制御、炉体昇降および移動機構に対応
  • ガス・真空・各種オプション設備に対応
  • その他、仕様に応じた電気炉の製作

   精密電気炉応用分野

横型管状炉,結晶製造システム,半導体,縦型管状炉,拡散システム,液晶部品,無誘導管状炉,CVD,電子部品,高精度高温炉,LPCVD,光学材料,制御技術,アニール炉,磁性材料,精密熱処理装置,高機能材料,真空炉,新素材,雰囲気炉,熱電対校正炉

   豊富な製作実績で御要望にお応えします (製作実績の例)

縦型割型電気炉、横型精密管状炉、高温縦型電気炉、縦型炉、真空炉、真空加熱炉、真空雰囲気炉、予熱器、熱電対校正炉、小型高温炉、ベルト炉、蒸溜炉、塩浴炉(ソルトバス)、ルツボ炉、白金炉、横型勾配炉、鋳造炉、結晶炉、ポット炉、引き上げ装置、ワイヤー加熱炉、マッフル炉、脱脂焼結炉、ガラス溶融炉、ラフメルト炉、リメルト炉、還元試験炉、アニール酸化炉、電線アニール炉、昇降式スーパー炉、半導体アニール炉、高温校正炉、熱電対校正炉、ブリッジマン炉、加圧炉、アルミ溶解炉、シンター炉、雰囲気アニール炉、携帯型黒体炉、定点炉、銅点実現装置 他

お気軽にお問い合わせ下さい。 TEL 045-788-8881 午前9:00~午後5:00/土日祝休

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